Tabla De Contenido - Edwards AIM-S-NW25 Manual De Instrucciones

Contenido
Sección
1 Introducción ....................................................................................... 1
1.1 Ámbito y definiciones ................................................................................................... 1
1.2 Descripción ............................................................................................................... 1
1.3 Dependencia del gas .................................................................................................... 2
2 Datos técnicos ..................................................................................... 5
2.1 Datos mecánicos ......................................................................................................... 5
2.2 Rendimiento y condiciones de funcionamiento y almacenamiento .............................................. 5
2.3 Datos eléctricos .......................................................................................................... 7
2.4 Supervisión de errores .................................................................................................. 7
2.5 Materiales expuestos al vacío .......................................................................................... 8
3 Instalación ......................................................................................... 9
3.1 Desembalaje e inspección .............................................................................................. 9
3.2 Colocación del manómetro AIM en el sistema de vacío ............................................................ 9
3.3 Conexiones eléctricas ................................................................................................... 9
3.3.1 Conexión con controladores de Edwards o indicadores AGD ...................................................... 9
3.3.2 Conexión con sus propios equipos de alimentación y control ....................................................10
4 Funcionamiento ................................................................................. 13
4.1 Seguridad ................................................................................................................ 13
4.2 Activación y desactivación del manómetro AIM .................................................................... 13
4.3 Medición de la presión .................................................................................................13
4.4 Punto de ajuste .........................................................................................................14
5 Mantenimiento .................................................................................. 15
5.1 Introducción ............................................................................................................. 15
5.2 Sustitución del barrilete ...............................................................................................15
5.2.1 Retirada del manómetro AIM del sistema de vacío ................................................................15
5.2.2 Colocación del nuevo barrilete ....................................................................................... 15
5.2.3 Recolocación del manómetro AIM en el sistema de vacío ........................................................15
5.3 Sustitución del conjunto del electrodo .............................................................................. 17
5.4 Sustitución de los componentes electrónicos y el alojamiento del imán ...................................... 17
5.5 Limpieza de los componentes internos .............................................................................. 17
5.6 Localización de averías ................................................................................................18
6 Almacenamiento y desecho ................................................................... 19
6.1 Almacenamiento ........................................................................................................19
6.2 Desecho .................................................................................................................. 19
6.3 Devolución de equipos o componentes para su reparación o mantenimiento ................................. 19
7 Recambios y accesorios ........................................................................ 21
7.1 Introducción ............................................................................................................. 21
7.2
Recambios ............................................................................................................... 21
7.3 Accesorios ................................................................................................................ 21
© Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados.
D14641888 Issue L
Página
Página i