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Manual de instrucciones
Manómetro de magnetrón activo invertido
Descripción
AIM-S-NW25
AIM-SL-NW25
AIM-X-NW25
AIM-XL-NW25
Traducción de las instrucciones originales
Número de referencia
D14641000
D14644000
D14642000
D14645000
D14641888
Issue L
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Resumen de contenidos para Edwards AIM-S-NW25

  • Página 1 D14641888 Issue L Manual de instrucciones Manómetro de magnetrón activo invertido Descripción Número de referencia AIM-S-NW25 D14641000 AIM-SL-NW25 D14644000 AIM-X-NW25 D14642000 AIM-XL-NW25 D14645000 Traducción de las instrucciones originales...
  • Página 2 Declaración de conformidad Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, Reino Unido El siguiente producto AIM-S-NW25 D14702000 AIM-SL-NW25 D14644000 AIM-X-NW25 D14642000 AIM-XL-NW25 D14645000 Cumple los requisitos de la legislación europea correspondiente: 2014/30/UE Directiva sobre compatibilidad electromagnética (CEM) 2012/19/UE Directiva de residuos de aparatos eléctricos y electrónicos (WEEE)
  • Página 3 Colocación del manómetro AIM en el sistema de vacío ............9 Conexiones eléctricas ....................9 3.3.1 Conexión con controladores de Edwards o indicadores AGD ............9 3.3.2 Conexión con sus propios equipos de alimentación y control ............10 Funcionamiento ................. 13 Seguridad ........................
  • Página 4 Características de presión y voltaje de nitrógeno y aire seco: manómetros AIM-S y AIM-SL ....14 Reconocimiento de marca registrada Edwards y el logo de Edwards son marcas registradas de Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, Reino Unido.
  • Página 5 Introducción Ámbito y definiciones En este manual se proporcionan las instrucciones de instalación, uso y mantenimiento del manómetro AIM de Edwards (manómetro de magnetrón activo invertido) Utilice el manómetro AIM tal y como se especifica en este manual. Lea este manual antes de realizar la instalación y poner en funcionamiento el manómetro AIM. La información importante de seguridad aparece destacada a modo de ADVERTENCIAS y PRECAUCIONES;...
  • Página 6 Puede ajustar la presión a la que se activa la salida del punto de ajuste: consulte la Sección 4.4. Si usa un controlador AGC o un indicador AGD de Edwards, no se utilizará la señal de salida del punto de ajuste del manómetro AIM. Dependencia del gas La ionización del gas del sistema de vacío depende tanto de la presión como de las propiedades físicas del gas.
  • Página 7 2. Brida de vacío 3. Barrilete 4. Alojamiento del imán 5. Conector de cable 6. Potenciómetro del punto de ajuste (en el extremo del elemento 1) 7. Conector del manómetro AIM © Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados. Página 3...
  • Página 8 D14641888 Issue L Esta página se ha dejado en blanco intencionalmente. Página 4 © Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados.
  • Página 9 Gama de medición de presión –8 –2 AIM-S/SL-NW25 De 1 × 10 a 1 × 10 mbar –9 –2 AIM-X/XL-NW25 De 1 × 10 a 1 × 10 mbar Grado de contaminación © Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados. Página 5...
  • Página 10 D14641888 Issue L Figura 2 – Dimensiones (mm) 1. Espacio necesario para el cable eléctrico Página 6 © Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados.
  • Página 11 La salida del punto de ajuste se apaga: 0,5 segundos durante el encendido del manómetro;  cuando la tensión de la señal de salida de presión es < 1,8 V.  © Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados. Página 7...
  • Página 12 D14641888 Issue L Materiales expuestos al vacío Acero inoxidable (AISI 304 y 306)  Fluoroelastómero  Vidrio sódico-cálcico  Página 8 © Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados.
  • Página 13 Conexión con controladores de Edwards o indicadores AGD Conecte el manómetro AIM al controlador o indicador con un cable que disponga de los conectores adecuados en sus extremos. Edwards suministra cables adecuados para ello (consulte la Sección © Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados.
  • Página 14 Las clavijas del conector eléctrico del manómetro AIM se utilizan como se indica en la Tabla 1. Los datos técnicos de la fuente de alimentación, el relé de CC y el diodo de supresión de fuerza contraelectromotriz se indican en Sección Página 10 © Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados.
  • Página 15 4. Voltímetro (señal de presión) 5. Relé de CC (opcional) 6. Diodo de supresión de fuerza contraelectromotriz (opcional) 7. Interruptor de activación del manómetro 8. Voltímetro (nivel de desconexión de punto de ajuste) © Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados. Página 11...
  • Página 16 Si quiere medir la señal de identificación del manómetro (que identifica al manómetro AIM), mida la resistencia entre las clavijas 4 y 5. Esta página se ha dejado en blanco intencionalmente. Página 12 © Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados.
  • Página 17 (apagar) el manómetro AIM, desconecte la clavija 7 de la clavija 2 (o de tierra). Medición de la presión Si ha conectado el manómetro AIM a un controlador AGC o un indicador AGD de Edwards, la presión medida por el manómetro AIM se mostrará en el indicador.
  • Página 18 Punto de ajuste Nota: Si conecta el manómetro AIM a un controlador AGC o un indicador AGD de Edwards, no se usará el punto de ajuste. Para ajustar la tensión a la que se activa la señal de salida del punto de ajuste, gire el potenciómetro del punto de ajuste, al que se puede acceder a través de un orificio de acceso situado en la cofia del manómetro: consulte la...
  • Página 19 Vuelva a colocar el manómetro AIM en el sistema de vacío como se explica en la Sección 3.2 e introduzca de nuevo el conector del cable en el conector del manómetro AIM (Figura 1, elemento 6). © Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados. Página 15...
  • Página 20 Figura 4 – Vista despiezada del manómetro AIM 1. Alojamiento del imán 2. Collarín 3. Conjunto anódico 4. Junta tórica 5. Barrilete 6. Placa catódica 7. Tubo catódico 8. Arandela de retención Página 16 © Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados.
  • Página 21 4. Desengrase la placa catódica (6), el tubo catódico (7), el barrilete (5) y el conjunto anódico (3) con un producto desengrasante adecuado. 5. Empape bien los componentes en un detergente adecuado de laboratorio. 6. Enjuague los componentes en agua limpia para eliminar el detergente. © Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados. Página 17...
  • Página 22 Si el manómetro AIM no funciona correctamente, compruebe que las conexiones eléctricas son correctas (consulte la Sección 3) y asegúrese de que el suministro eléctrico sea adecuado para el manómetro AIM (consulte la Sección Página 18 © Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados.
  • Página 23 Deseche el producto y todos los componentes de forma segura de acuerdo con todos los requisitos nacionales y locales medioambientales y de seguridad. También es posible que se puedan reciclar el producto y/o los cables: póngase en contacto con Edwards o con su proveedor para recibir asesoramiento (consulte también la información siguiente).
  • Página 24 D14641888 Issue L Esta página se ha dejado en blanco intencionalmente. Página 20 © Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados.
  • Página 25 La mayoría de estos centros emplea a ingenieros que han completado los exhaustivos cursos de formación de Edwards. Realice los pedidos de recambios y accesorios a la empresa o distribuidor Edwards más cercano. Cuando realice un pedido, de cada pieza indique: Modelo y número de elemento del equipo...
  • Página 26 D14641888 Issue L Esta página se ha dejado en blanco intencionalmente. Página 22 © Edwards Limited 2020. Todos los derechos reservados.