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Mantenimiento
5.1
Introducción
No desconecte del barrilete los componentes electrónicos ni el alojamiento del imán mientras el
barrilete esté conectado al sistema de vacío. Si hay una descarga de plasma en el sistema de vacío,
cerca del barrilete, el barrilete puede cargarse de electricidad.
Desconecte el cable del manómetro AIM antes de retirar el manómetro AIM del sistema de vacío.
Dentro del manómetro AIM se generan altas tensiones.
Los componentes internos del manómetro AIM se muestran en la
manera que le resulte fácil limpiar los componentes o usar los recambios que se enumeran en la
reemplazarlos. Consulte las siguientes secciones para ver los detalles de los procedimientos de mantenimiento,
que debe realizar cuando sea necesario.
5.2
Sustitución del barrilete
Para reemplazar el barrilete, consulte la
5.2.1
Retirada del manómetro AIM del sistema de vacío
1. Apague el suministro eléctrico del manómetro AIM y asegúrese de que el sistema de vacío se encuentre a
la presión atmosférica.
2. Desconecte el conector del cable
del sistema de vacío.
5.2.2
Colocación del nuevo barrilete
1. Sujete el alojamiento del imán (1) y gire el barrilete (5) en sentido antihorario (mirándolo desde la brida
de vacío) para desbloquear el acoplamiento de bayoneta. Retire el barrilete del alojamiento del imán.
2. Introduzca el nuevo barrilete deslizándolo hacia el alojamiento del imán (1) (como indica la flecha B).
3. Sujete el alojamiento del imán (1) y gire el barrilete (5) en sentido horario (mirándolo desde la brida de vacío)
para bloquear el acoplamiento de bayoneta (como indica la flecha C).
5.2.3
Recolocación del manómetro AIM en el sistema de vacío
Vuelva a colocar el manómetro AIM en el sistema de vacío como se explica en la
el conector del cable en el conector del manómetro AIM
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ADVERTENCIA
ADVERTENCIA
Figura 4
y siga los procedimientos que se indican a continuación:
(Figura
1, elemento 5) del manómetro AIM y retire el manómetro AIM
(Figura
Figura
4. El manómetro AIM se ha diseñado de
Sección 3.2
1, elemento 6).
D14641888 Issue L
Sección 7
para
e introduzca de nuevo
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