NO!
! ! ! !
PERICOLO!
Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun
motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d'ingresso della
turbopompa. Si consiglia l'uso della retina di protezione
(opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di
vibrazioni oppure un soffietto metallico flessibile sulla
bocca d'ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base.
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta
tramite
opportuni
"Technical Information" per ulteriori dettagli.
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V1000 ICE-E
series devono essere utilizzate solo con uno degli appositi
controllori Varian (serie 969-9464 220V, 969-9564 120V) e
devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere
schema in "Technical Information").
La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione.
Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia
di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace
di resistere ad una coppia di 4668 Nm attorno al proprio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive il numero di morsetti
necessari e con quale coppia di serraggio stringerli.
FLANGIA
TIPO DI
MORSETTO
ISO 200
Morsetto doppio
con filettatura M10
Morsetto singolo
con filettatura M10
Per fissare la pompa per mezzo della sua base, è necessario
utilizzare tre viti M6 fissate agli appositi fori presenti sulla base
della pompa. Le viti utilizzate devono avere un carico di
2
snervamento di 550 N/mm
e devono essere fissate con una
coppia di 4,5 Nm.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
USO
Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della
turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo.
Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo.
Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare
l'involucro della pompa utilizzando il riscaldatore opzionale.
Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la
temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 80 °C.
Utilizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le
operazioni di riscaldamento.
schermi.
Vedere
l'appendice
N.
COPPIA DI
SERRAGGIO
6
23 Nm
12
23 Nm
! ! ! !
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.
! ! ! !
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso
attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica).
! ! ! !
Evitare
urti,
oscillazioni
turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero
danneggiarsi.
! ! ! !
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate
di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire
alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per
proteggere
i
cuscinetti
Information").
! ! ! !
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas
tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate
procedure tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
MANUTENZIONE
Le pompe della serie Turbo-V1000 ICE-E series non
richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve
essere eseguito da personale autorizzato.
! ! ! !
Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa
scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la
pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo
arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale
della pompa sia inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di
riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service",
che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione
di quella guasta.
Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o
advanced exchange service, è indispensabile compilare e far
pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e
Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della
stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima
della spedizione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali
specifiche.
2
ISTRUZIONI PER L'USO
PERICOLO!
ATTENZIONE!
ATTENZIONE!
o
bruschi
spostamenti
ATTENZIONE!
(vedere
l'appendice
"Technical
PERICOLO!
PERICOLO!
NOTA
87-900-942-01(A)
della