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PRECAUCIÓN: Posible daño del sistema. No deje caer nada en el drenaje de la fuente
al retirar la fuente de iones.
Figura 5-2 Drenaje de la fuente en la interfaz de vacío
1.
Desactive los dispositivos. Consulte el documento: Guía de usuario del software.
2.
Retire la fuente de iones. Consulte el documento: Guía del operador de la fuente de
iones.
Guarde la fuente de iones mientras no la esté utilizando para protegerla de posibles
daños y preservar su integridad de funcionamiento.
Limpieza de la placa de chapa
PRECAUCIÓN: Posible daño del sistema. No apoye la placa de chapa ni la placa del
orificio en la punta de la abertura. Compruebe que el lado cónico de la placa de chapa
está orientado hacia arriba.
PRECAUCIÓN: Posible daño del sistema. Para evitar daños en la abertura, no introduzca
un cepillo de alambre o de metal en la abertura sobre la placa de chapa, la placa del
orificio o el calentador de la interfaz.
Guía de usuario del sistema
RUO-IDV-05-13386-ES-A
Información de servicio técnico y mantenimiento
Serie de instrumentos 6500
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