Tabla De Contenido - Edwards APG-M-NW16 AL Manual Del Usuario

Contenido
Sección
1 Introducción ....................................................................................... 1
1.1 Ámbito y definiciones ................................................................................................... 1
1.2 Descripción ............................................................................................................... 1
1.3 Dependencia del gas .................................................................................................... 3
2 Datos técnicos ..................................................................................... 5
2.1 Datos mecánicos ......................................................................................................... 5
2.2 Rendimiento y condiciones de funcionamiento y almacenamiento .............................................. 5
2.3 Datos eléctricos .......................................................................................................... 7
2.4 Materiales expuestos al vacío .......................................................................................... 7
3 Instalación ......................................................................................... 9
3.1 Desembalaje e inspección .............................................................................................. 9
3.2 Colocación del APG en el sistema de vacío .......................................................................... 9
3.3 Conexión eléctrica ......................................................................................................10
3.3.1 Conexión con controladores de Edwards o indicadores AGD .....................................................10
3.3.2 Conexión con sus propios equipos de alimentación y control ....................................................10
4 Funcionamiento ................................................................................. 11
4.1 Medición de la presión .................................................................................................11
4.2 Ajuste del punto de ajuste ............................................................................................12
5 Mantenimiento .................................................................................. 15
5.1 Ajuste de la atmósfera y del vacío ................................................................................... 15
5.2 Limpieza del filtro ......................................................................................................16
5.3 Localización de averías ................................................................................................17
6 Almacenamiento y desecho ................................................................... 19
6.1 Almacenamiento ........................................................................................................19
6.2 Desecho .................................................................................................................. 19
7 Recambios y accesorios ........................................................................ 21
7.1 Introducción ............................................................................................................. 21
7.2 Recambios ............................................................................................................... 21
7.3 Accesorios ................................................................................................................ 21
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D021-71-888 Issue L
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