Tabla de contenido
D021-71-888 Issue L
Tabla 3: Características de presión y tensión para nitrógeno y aire seco (APG-L)
Tensión de
Presión (mbar)
salida (V)
-6
<1 × 10
-5
8,26 × 10
-4
2,27 × 10
-4
5,00 × 10
-3
1,08 × 10
-3
1,68 × 10
-3
2,60 × 10
-3
3,84 × 10
-3
5,15 × 10
-3
6,87 × 10
-2
1,05 × 10
-2
1,56 × 10
-2
2,10 × 10
-2
2,77 × 10
-2
3,45 × 10
-2
4,16 × 10
-2
5,04 × 10
-2
5,92 × 10
-2
8,74 × 10
-1
1,27 × 10
-1
1,71 × 10
-1
2,23 × 10
-1
2,90 × 10
-1
3,57 × 10
Si ha conectado la salida de señal al APG o a un voltímetro, convierta la tensión medida al valor de presión
correspondiente: consulte la
Si es necesario, ajuste la lectura de la presión para compensar la RMM del gas de su sistema de vacío (consulte la
Sección
1.3).
4.2
Ajuste del punto de ajuste
Si ha conectado el APG a un controlador AGC o un indicador AGD de Edwards, utilice el procedimiento de ajuste del
punto de ajuste que se detalla en el manual de instrucciones suministrado con la unidad. Si ha conectado el APG
a su propio equipo de control, utilice el siguiente procedimiento para cambiar el punto de ajuste del APG: consulte
la
Figura
4.
1. Deslice el panel de cubierta (2) para retirarlo de la conexión de vacío.
2. Utilice un destornillador pequeño para ajustar el potenciómetro del punto de ajuste (4).
3. Para obtener una estimación de la presión del punto de ajuste, lea la escala de la etiqueta del punto de ajuste
(Figura
4, elemento 1, y
4. Para medir la presión del punto de ajuste de forma precisa:
Conecte la clavija 7 a la clavija 2 (o a masa)
Utilice un voltímetro para medir la tensión entre las clavijas 3 y 5
Utilice los datos indicados en las
Si fuera necesario, gire el potenciómetro del punto de ajuste para cambiar la presión del punto de ajuste
Desconecte la clavija 7 de la clavija 2 (o de la masa)
Página 12
Presión (Torr)
-7
2,00
<7,5 × 10
-5
2,05
6,20 × 10
-4
2,10
1,70 × 10
-4
2,20
3,75 × 10
-4
2,40
8,10 × 10
-3
2,60
1,26 × 10
-3
2,80
1,95 × 10
-3
3,00
2,88 × 10
-3
3,20
3,86 × 10
-3
3,40
5,15 × 10
-3
3,60
7,88 × 10
-2
3,80
1,17 × 10
-2
4,00
1,58 × 10
-2
4,20
2,08 × 10
-2
4,40
2,59 × 10
-2
4,60
3,12 × 10
-2
4,80
3,78 × 10
-2
5,00
4,44 × 10
-2
5,20
6,56 × 10
-2
5,40
9,53 × 10
-1
5,60
1,28 × 10
-1
5,80
1,67 × 10
-1
6,00
2,18 × 10
-1
6,20
2,68 × 10
Tabla 2
para los modelos APG-M o APG-MP y la
Figura
5).
Tablas 2
y
3
Edwards y el logotipo de Edwards son marcas comerciales de Edwards Limited.
Presión (mbar)
-1
4,35 × 10
-1
5,33 × 10
-1
6,40 × 10
-1
7,67 × 10
-1
9,23 × 10
1,14
1,40
1,66
1,92
2,38
2,95
3,51
4,17
5,40
7,06
9,69
1
1,29 × 10
1
1,66 × 10
1
2,07 × 10
1
3,39 × 10
1
6,32 × 10
2
1,44 × 10
3
1,00 × 10
Tabla 3
para convertir la tensión en una presión equivalente
© Edwards Limited 2018. Todos los derechos reservados.
Tensión de
Presión (Torr)
salida (V)
6,40
3,26 × 10
6,60
4,00 × 10
6,80
4,80 × 10
7,00
5,75 × 10
7,20
6,92 × 10
7,40
8,55 × 10
7,60
1,05
7,80
1,25
8,00
1,44
8,20
1,79
8,40
2,21
8,60
2,63
8,80
3,13
9,00
4,05
9,20
5,30
9,40
7,27
9,50
9,68
9,60
1,24 × 10
9,70
1,55 × 10
9,80
2,54 × 10
9,90
4,74 × 10
9,95
1,08 × 10
10,00
7,50 × 10
para el modelo APG-L.
-1
-1
-1
-1
-1
-1
1
1
1
1
2
2
Tabla de contenido
