取扱説明書 - Agilent TwisTorr 305-ICQ Manual Del Usuario

取扱説明書

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取扱説明書
この説明書について
有効期
定義と用語
警告・注意・注の定義
警告の記号
安全性
適切な使用
不適切な使用
保護用装備
ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン
移送＆保管
製品説明
取り付け
取り付けの準備
セットアップ
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF 実装
高真空フランジの接続
ISO-K フランジの取り付け
ConFlat フランジの取り付け
フォア真空ポンプの接続
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF の起動開始と操作
TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF を停止する
緊急停止
メンテナンス
ローターの寿命
ソフトスタート
クリーニング
処分
サービス
148 Agilent TwisTorr 305-ICQ & 305-IC SF User Manual
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