Tabla de contenido
2.50 Panel de Control
Figura 5
• Palanca "WAFER REPLACEMENT"
(Sustitución de láminas)
Tire de la palanca hacia usted y luego proceda a empujarla
para expulsar la lámina usada, con el fin de sustituirla por otra
nueva. (Mantenga la palanca en el extremo lejano de la ranura
para todas las operaciones, salvo cuando sustituya láminas.)
• Compartimento del cassette de láminas
Compartimento que aloja el cassette de láminas.
• Botón "CASSETTE RELEASE"
Al pulsar este botón, la cassette quedará liberada de su
soporte.
• Luz indicadora "POWER"
Indica que el equipo está encendido.
• Luz de alarma "CLAMPS"
Indica que las tapas de las pinzas no están completamente
cerradas y que no se han reposicionado desde la última
conexión. La alarma sonará cuando se pulse el conmutador
"START" y esté presente una de las condiciones anteriores.
• Luz de alarma "WAFER"
Indica que la lámina cargada se ha utilizado ya o que se está
calentando inadecuadamente.
• Conmutador "CLAMP ALIGN/RESET"
Pulse este conmutador para realinear las pinzas después de
una conexión. Este conmutador se utiliza también para
reposicionar la máquina si suena la alarma.
En caso de que exista un problema de comunicación, al
pulsar este conmutador se detiene la comunicación con
TSCDIS.
• Luz "REPLACE WAFERS"
Indica que el conmutador "START" fue pulsado sin sustitución
de la lámina o que fue pulsado antes de que la palanca de
sustitución de las láminas hubiera vuelto a la parte posterior de
la ranura.
• Interruptor "START"
Al pulsar este interruptor, después del bloqueo de los tubos en
las pinzas y que se haya avanzado una nueva lámina, se inicia
el ciclo de conexión.
Después de un problema de comunicación, con la pulsación
de este interruptor se reanuda la comunicación con TSCDIS.
• Luz indicadora "OPERATING"
®
Indica que el TSCD
‚ está en el proceso de conectar dos
secciones de tubos.
• Pinzas
Coloque los tubos en las ranuras frontal y posterior y bloquee
las pinzas, de modo que pueda iniciarse el ciclo de conexión.
Una vez terminado el ciclo, el tubo en la ranura frontal
izquierda estará conectado al tubo en la ranura posterior
derecha.
6
Tabla de contenido
