Cuidado
La señal «Activar plasma» solo se puede interpretar correctamente si se aplica como muy
pronto 100 ms después de aplicar la tensión de alimentación de 24 V.
La tensión de alimentación de 24 V debe seguir aplicándose al equipo al menos 5 s
después de que se haya desactivado la señal de plasma.
Asegúrese de que la señal «Activar plasma» solo se pueda activar cuando haya
suficiente suministro de gas y suficiente potencia de aspiración. Recomendamos un
avance de gas de 1 segundo y una inercia de gas de 3 segundos como mínimo.
El ciclo más corto para la señal «Activar plasma» es de 500 ms. En ciclos más cortos, no
se produce una generación de plasma fiable. El comportamiento transitorio del
transformador piezoeléctrico crea un retardo en la formación del plasma tras la señal de
conmutación.
• Plasma OK
Salida con mensaje sobre el estado del plasma.
En un estado de funcionamiento admisible, hay 24 V en esta salida.
En caso de desconexión o de error, hay 0 V.
La capacidad de carga máxima es de 20 mA.
Cuidado
La señal «Plasma OK» solo comprueba si el módulo intercambiable funciona en un
campo admisible de parámetros de funcionamiento y si se está produciendo una
descarga de plasma. NO comprueba si la potencia de activación llega al sustrato ni si
todo el proceso está «OK».
• Error
Salida con mensaje sobre el estado del error.
En caso de error, hay 24 V en esta salida.
En estados de funcionamiento admisibles, hay 0 V.
La capacidad de carga máxima es de 20 mA.
7.3
Solución de errores
El estado de error también permanece activo tras desactivarse la señal «Activar
plasma». Un reinicio tras la rectificación del error solo puede realizarse desconectando
la alimentación de tensión de 24 V en la línea de conexión de CC.
Para reiniciar la generación de plasma, se debe conectar de nuevo la señal «Activar
plasma».
7.4
Inserción/extracción del módulo intercambiable
Los módulos intercambiables están provistos de etiquetas de distintos colores para
diferenciarse unos de otros. No despegue estas etiquetas.
Atención: ¡tensión eléctrica!
Asegúrese de que el suministro eléctrico esté desconectado cuando se vaya a
cambiar el módulo. No toque el interior del equipo si se ha extraído el módulo
intercambiable.
26
BA-PZ3_i_ML / F0354902
