Tabla de contenido
Figura A-1 Conexiones de gas recomendadas
Elemento
Gas
1
Gas 1/Gas 2
2
Escape de la
fuente
3
Gas para la
interfaz de
Curtain Gas
4
Gas CAD
5
Gas de DMS
Resolution
Guía de planificación del centro
RUO-IDV-01-6834-ES-C
Descripción
Aire grado cero
Aire local, aire
grado cero o alta
pureza (UHP) N
2
(99,999 %)
UHP N
2
TM
UHP N
2
UHP N
2
Presión
Caudal (máx.)
Pico máximo
26 l/min
105 psi
(7,25 bar)
55 psi (3,79 bar)
25 l/min
a 105 psi
(7,25 bar)
60 psi (4,14 bar)
18 l/min
máximo
60 psi (4,14 bar)
1 ml/min
máximo
55 psi (3,79 bar)
3 l/min
a 60 psi
(4,14 bar)
Requisitos del centro
Tubo
0,64 cm
(1/4 pulgadas)
0,64 cm
(1/4 pulgadas)
0,64 cm
(1/4 pulgadas)
0,64 cm
(1/4 pulgadas)
0,32 cm
(1/8 pulgadas)
Tecnología SelexION
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®
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