Descripción De Los Subconjuntos; Bomba De Respaldo; Bomba Turbo Molecular (Tmp); Espectrómetro De Masa - Inficon Ecotec E3000 Manual Tecnico

2.2 Descripción de los subconjuntos
2.2.1

Bomba de respaldo

2.2.2

Bomba turbo molecular (TMP)

2.2.3 Espectrómetro de masa
2.2.4

Abastecimiento cuadrupolo

2.2.5

Control

2-2
Cómo trabaja el instrumento
Una bomba de diafragma en el Ecotec E3000 sirve como bomba de respaldo. Toda
la información adicional sobre esta bomba se da en las instrucciones de servicio de
la bomba. La bomba de respaldo genera la presión necesaria para la operación de
la bomba turbo molecular y succiona el gas a través del conducto del sorbedor.
Hay una bomba turbo molecular integrada al Ecotec E3000 con fase de compresión
ascendente. La bomba turbo molecular genera el alto vacío necesario para el
servicio del espectrómetro de masa, mientras las fases de compresión permiten
relativamente las presiones altas de respaldo sin perjudicar la presión final en el
espectrómetro de masa. La TMP tiene un lado de conexión. Así una parte del gas
succionado se bombea a través de la TMP a la primera fase de la bomba de
diafragma. Esta carga de gas previene la acumulación de vapor de agua en la
bomba de diafragma.
TM
El transpector espectrómetro de masa se compone de la fuente de iones, el
separador y el colector de iones. La fuente de iones ioniza las particulas neutrales
de gas y genera un haz de iones. Los iones con carga positiva se aceleran fuera de
la fuente de iones e ingresan al campo del cuadrupolo. Este campo actúa como un
filtro. Solamente los iones a los cuales se haya ajustado el sistema son capaces de
cumplir las condiciones de separación y llegar al colector de iones donde su
presencia se puede medir como corriente con un amplificador electrométrico. Esta
corriente es la señal de salida que se utiliza para calcular las tasas de fuga. Dentro
de la fuente de iones se han integrado dos cátodos, Si uno falla el otro es
seleccionado automáticamente.
Este subconjunto genera todas las tensiones y corrientes requeridas para el servicio
del espectrómetro de masa. Los fallos en el espectrómetro de masa se detectan y
señalan a la unidad de control. La unidad de control monitorea el abastecimeinto del
espectrómetro de masa.
La unidad de control (microprocesador) es el conjunto central de la electrónica del
Ecotec E3000. Todos los demás subconjuntos son controlados y monitoreados por
este conjunto. El microprocesador aquí ubicado recibe continuamente información