5.3
Medición de anchura, detección de posición
Figura 5.3:
Medición de anchura
Se utiliza la siguiente función de evaluación para la medición de anchura: cantidad de todos los haces
interrumpidos (TIB).
Se utiliza la siguiente función de evaluación para la detección de posición: evaluación de haces indivi-
duales (beamstream).
5.4
Medición de contornos
Figura 5.4:
Medición de contornos
Se utiliza la siguiente función de evaluación: evaluación de haces individuales (beamstream).
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Aplicaciones
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