Tabla de contenido
Especificaciones de contaminación
Apéndice 1.1 Especificaciones de contaminación por partículas
La siguiente tabla define las limitaciones de la contaminación por partículas en la operación
entorno del dispositivo. Si el nivel de contaminación por partículas supera los límites especificados
y provocar daños o fallas en el dispositivo, debe rectificar las condiciones ambientales.
partículas
contaminación
Filtración de aire
Polvo conductivo
polvo corrosivo
Clase
-
Clase 1
Clase 2
Clase 3
Clase 4
Clase 5
Clase 6
Clase 7
Clase 8
Clase 9
Apéndice 1.2 Especificaciones de contaminación gaseosa
Por lo general, los ambientes atmosféricos interiores y exteriores contienen una pequeña cantidad de corrosivos comunes.
gases contaminantes. Cuando estos contaminantes gaseosos corrosivos mixtos o individuales reaccionan con otros
factores como la temperatura o la humedad relativa a largo plazo, el dispositivo podría sufrir un riesgo
Partículas y Gaseosos
Apéndice Tabla 1-1 Especificaciones de contaminación por partículas
Especificaciones
Clase 8 según lo definido por ISO 14644-1.
El aire debe estar libre de polvo conductor, filamentos de zinc u otras partículas
conductoras.
El aire debe estar libre de polvo corrosivo. El polvo residual presente en el aire debe
tener un punto de delicuescencia inferior al 60% de humedad relativa.
Apéndice Tabla 1-2 Clasificación de sala limpia ISO 14644-1
Partículas máximas/m
3
≥ 0,2 μm
≥ 0,1 micras
10
2
100
24
1000
237
2370
10000
100000
23700
1000000
237000
-
-
-
-
-
-
≥ 0,5 μm
≥ 0,3 micras
-
-
10
4
102
35
1020
352
3520
10200
102000
35200
-
352000
-
3520000
-
-
42
≥ 1 micra
≥ 5 micras
-
-
-
-
8
-
83
-
832
29
8320
293
2930
83200
832000
29300
8320000
293000
Tabla de contenido
