Installation
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Installation
Pour l'installation de l'appareil, exécutez les opérations suivantes en respectant l'ordre
indiqué :
1. Montez le générateur de plasma en utilisant les deux
orifices taraudés M4 sur un logement stable.
L'appareil peut être positionné dans n'importe quelle
direction spatiale.
2. Réalisez la ligne de raccordement comme décrit au
point 2.4 et connectez la ligne au bloc d'alimentation
fourni et à la commande de votre installation.
3. Raccordez la ligne de raccordement à la douille
correspondante du générateur de plasma et serrez
fermement l'écrou-raccord.
4. Raccordez un tuyau de gaz adapté d'un diamètre de Ø
4 mm au raccord de gaz correspondant du générateur
de plasma et vérifiez si le tuyau de gaz est
correctement fixé.
Le générateur de plasma est installé.
Attention : dommages sur l'appareil !
Le générateur de plasma peut être endommagé s'il est exploité sans débit de gaz.
Cela interromprait l'afflux de fluide de refroidissement nécessaire au bon fonctionnement.
- N'activez en aucun cas la génération de plasma avant l'activation du départ de gaz
(2 secondes).
Le générateur de plasma peut être endommagé s'il des objets électroconducteurs se
trouvent à moins de 60 mm dans la zone du tiers avant du générateur de plasma.
Exception : Substrats devant la buse en cas d'utilisation de la buse Nearfield.
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