4 | Descripción
4.2 Estructura del aparato
4.2.1 Aparato completo (LDS3000)
16 / 142
Fig. 1: Módulo de espectrómetro de masas LDS3000
1
Bloque de conexión. Conexiones para instalación de comprobación, bomba
de vacío previo, sensor de presión PSG500, fuga calibrada interna y conducto
de aspiración, consulte también "Bloque de conexión [} 21]".
2
Sensor de presión PSG500 para medir la presión en la bomba de vacío
previo
3
Preamplificador del módulo de espectrómetro de masas
4
Bomba turbomolecular con unidad de refrigeración
5
Caja MSB. Interfaces del módulo del espectrómetro de masas (consulte "Caja
MSB [} 21]")
6
Convertidor turbobomba molecular
7
Elementos de fijación para el montaje del módulo de espectrómetro de masas
en una instalación de comprobación
8
Placa de características con los datos característicos del módulo de
espectrómetro de masas
LDS3000(AQ)-MSM-manual-de-instrucciones-jiqa54es-10-(1911)
INFICON