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6.2.2.3 Calibración de varios puntos
Indicación en la línea de estado de la pantalla: "Z12".
Puntos de calibración: punto cero (directamente sobre el sustrato) y sobre dos patrones de
precisión.
La calibración se efectúa sobre el objeto de calibración sin revestir de la misma geometría y del
mismo material que el objeto de medición. Se toman tres puntos de calibración: directamente
sobre el sustrato (punto cero) y utilizando dos patrones de precisión. Idealmente, el valor del
primer patrón de precisión se encuentra en la mitad inferior, el valor del segundo patrón de
precisión se encuentra en la mitad superior del intervalo de espesores de la capa.
Este método de calibración se aplica cuando hay que medir con gran precisión un intervalo de
espesores mayor.
6.2.2.4 Calibración de dos puntos sin punto cero
Indicación en la línea de estado de la pantalla: "12".
Puntos de calibración: sobre dos patrones de precisión (sin punto cero).
La calibración se efectúa sobre el objeto de calibración sin revestir de la misma geometría y del
mismo material que el objeto de medición. Se toman dos puntos de calibración utilizando dos
patrones de precisión. El valor del primer patrón de precisión debe ser más pequeño que el grosor
esperable y el valor del segundo patrón de precisión debe ser mayor. No se toma un punto de
calibración directamente sobre el sustrato (punto cero).
Éste constituye un método de calibración específico para utilizar sobre superficies rugosas. En
sustratos rugosos, los puntos de calibración tomados directamente sobre el sustrato (puntos cero)
presentan grandes oscilaciones dependiendo de la rugosidad, por lo que la calidad general de la
calibración, antes que mejorarse, se empeoraría. Por ello, es mejor prescindir aquí del punto cero.
6.2.3 Métodos de calibración prefijados y orientados por menú
6.2.3.1 Generalidades
Para todos los métodos de calibración predefinidos y orientados por menú, se verifica lo siguiente:
La selección del método prefijado que se desee se efectúa configurando una serie de medición.
Tras finalizar la configuración de la serie de medición, se inicia la calibración orientada por menú.
Mientras la calibración no se haya finalizado completamente, está activa la calibración de fábrica ,
y en la línea de estado en la pantalla parpadea la indicación "CAL".
6.2.3.2 Calibración conforme a ISO (EN ISO 19840)
Indicación en la línea de estado de la pantalla: "ISO".
Puntos de calibración: directamente sobre el sustrato (punto cero) y sobre dos patrones de
precisión
Esta norma no es aplicable si los espesores nominales son menores de 40 µm.
La calibración se efectúa sobre el objeto de calibración sin revestir de la misma geometría y del
mismo material que el objeto de medición. Se toman tres puntos de calibración: directamente
sobre el sustrato (punto cero) y utilizando dos patrones de precisión adecuados, donde el valor del
primer patrón de precisión debe estar por debajo del espesor esperable y el valor del segundo
patrón de precisión debe estar por encima.
Para compensar la influencia de la rugosidad sobre la medición hay que aplicar un factor de
corrección dependiendo del valor de rugosidad presente "Rugosidad" según la tabla de debajo,
alternativamente también se puede determinar y ajustar un factor de corrección específico (según
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MiniTest 720, MiniTest 730, MiniTest 740
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