Varian 869-8933 Manual De Instrucciones página 11

TV 801 Navigator Bolted Flange in einer stabilen Position be-
festigen. Den Eintrittsflansch der Turbopumpe am Gegen-
flansch des Systems montieren. Diese Verbindung soll einem
Drehmoment von 8.900 Nm um die eigene Achse standhalten.
Zum Beispiel kann dieser Bolted Flange unter Verwendung
hoch widerstandsfähiger Schrauben (Klasse höher als 8.8)
befestigt werden.
Die folgende Tabelle zeigt die erforderliche Anzahl Schrauben
und das jeweilige Anzugsmoment.
FLANSCH ANZ.
160 Bolted 8
Modell TV 801 Navigator Bolted Flange kann in jeder beliebi-
gen Position installiert werden.
HINWEIS
Modell TV 801 Navigator Bolted Flange kann nicht mittels sei-
nes Sockels befestigt werden.
!
ACHTUNG!
Der TV 801 Navigator Bolted Flange gehört zur zweiten Instal-
lationsklasse (Überdruck) die von den Normen EN 61010-1
vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungs-
leitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht.
Der TV 801 Navigator Bolted Flange hat Verbinder für den Ein-
und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die
Außenkreise angeschlossen werden müssen, sodaß kein Teil
unter Spannung zugänglich ist . Sicherstellen, daß die Isolie-
rung der an den TV 801 Navigator Bolted Flange angeschlos-
senen Vorrichtung auch bei einer Einzelstörung ausreichend
isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1 vorgesehen wird.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera-
tur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.

GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle
heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr.
!
ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen
Druck) betragen. Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die
Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum
Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist
(siehe Anhang "Technical Information").

GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren
oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige
Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfä-
higen Gasen verwendet werden.
ANZUGSMOMENT
5 Nm
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GEBRAUCHSANLEITUNG
Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 801
Navigator Bolted Flange
Zur Einschaltung von Modell TV 801 ISO F ist es mit der erfor-
derlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute
Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock-
und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft
Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet.
Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanläufe ohne den
Modus "Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft Start"
zu starten, ist dieser Modus mittels der Software wieder frei-
zugeben (siehe Abschnitt
DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information").
Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 801 ISO
F gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingun-
gen des System an:
- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-
trieb.
- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
"Waiting for Interlock".
- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Stoppen von Modell TV 801 Navigator Bolted
Flange
Zum Stoppen von Modell TV 801 Navigator Bolted Flange ist
die Versorgungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Cont-
roller sorgt für den sofortigen Pumpenstopp.

GEFAHR!
Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V
mit einem dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestell-
teile) versorgt werden, das mit einem (auf internationaler Ebene
genehmigten) Stecker ausgestattet ist. Verwenden Sie dieses
Kabel und den Stecker zusammen mit einer entsprechend
geerdeten Steckdose, um Stromschläge zu vermeiden und den
Anforderungen der EG-Richtlinien zu entsprechen.
Die Hochspannungen, die sich im Controller entwickeln, kön-
nen zu schweren Schäden oder zum Tod führen. Vor den War-
tungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen.
Not-Aus
Zur Stillsetzung von Mod. TV 801 Navigator Bolted Flange in
Notsituationen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen.
WARTUNG
Modell TV 801 Navigator Bolted Flange erfordert keine War-
tung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fach-
personal ausgeführt werden.

GEFAHR!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-
tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan-
ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein
generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System
zur Verfügung stellt.
HINWEIS
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Um-
tauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und
Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die
örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpa-
ckung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-
schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
"RS 232 COMMUNICATION
87-900-980-01(B)