Tabla de contenido
INSTALACE
VÝSTRAHA!
Kvůli své hmotnosti je třeba při manipulaci s vývěvou používat
odpovídající nástroje a nářadí.
Používejte příslušné šrouby s okem našroubované do otvorů
v tělese vývěvy.
!
VAROVÁNÍ
Před
připojením
turbomolekulární
nesundávejte šroubovací víko.
Vývěvu
neinstalujte
v prostředí,
atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním
plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým
nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující
podmínky dané prostředím:
−
maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
−
teplota vzduchu: od +5 °C do +40 °C
−
relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit
feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze
"Technické informace".
Vývěva Turbo-V 2K-G se musí připojit k primárnímu čerpadlu
(viz "Technické informace").
Vývěvu Turbo-V 2K-G lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu
Turbo-V 2K-G upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní
přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese
torzní moment 10600 Nm kolem své osy.
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí
připevnit k vakuové komoře šrouby. Následující tabulka uvádí
nezbytný počet šroubů a příslušný utahovací moment, který
doporučuje firma Varian..
PŘÍCHYTNÉ
PŘÍRUBA
ZAŘÍZENÍ
ISO 250 F
šrouby M10
POZNÁMKA
Vývěvu Turbo-V 2K-G nelze připevnit pomocí její podstavy.
Toto zařízení lze připevnit pouze pomocí jeho příruby ISO 250F
. Upevnění musí být provedeno podle normy ISO 1609.
Musí se použít ocelové šrouby o pevnosti nejméně 500 N/mm
vývěvy
do
systému
které
je
vystaveno
UTAHOVACÍ
POČET
MOMENT
12
22 Nm
2
.
!
Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva Turbo-V 2K-G do
druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte
do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu.
Vývěva Turbo-V 2K-G je vybavena vstupními a výstupními
konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí
připojit k externím obvodům tak, aby žádná elektrická součást
nebyla přístupná.
Pro zachování ochranného krytí IP-54 použijte odpovídající
dodané konektory.
Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě Turbo-V
2K-G byla přiměřená i v případě
směrnice EN 61010-1.
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické
informace".
POUŽITÍ
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a
pneumatická připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí
překročit 80 °C.
Za chodu vývěvy nesmí teplota rotoru nikdy přesáhnout 120 °C.
Uživatel musí zadat podle odčerpávaného plynu příslušný
plynový režim: 1 pro N
nastavení). Viz podrobné informace v příloze "Technické
informace".
Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba
připojená k vakuové komoře.
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
!
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který
je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí
být menší než 1 bary (nad atmosférickým tlakem).
Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny
speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního
plynu (např. N
, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu
2
"Technické informace").
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Vývěva je
určena pro vysoce výkonné odčerpávání N
Pokud byste potřebovali odčerpávat plyny těžší než Ar,
kontaktujte technickou podporu firmy Varian a žádejte
informace.
55
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
VAROVÁNÍ
jediné poruchy podle
a lehčí plyny, 0 pro argon (výchozí
2
VÝSTRAHA!
VAROVÁNÍ
VÝSTRAHA!
, Ar a lehčího plynu.
2
87-900-968-01(C)
Tabla de contenido
